直讀光譜儀的真空泵是提供真空環境的重要部件。直讀光譜儀特殊設計的真空係統，保證了光室穩定的高真空度，進而提高了光學係統的穩定性；如元素碳，磷，硫等被空氣中的水，氧氣等吸收，所以需要抽真空，這樣去除一些幹擾後，直讀光譜儀才會更加的精確。特殊設計的前光路，可在保證光源激發光斑穩定的情況下，zui大限度地提高了光室進光量。若是一台直讀光譜儀儀器很長時間沒有啟動，必須等待片刻後，才能進行檢測，這段時間，真空係統會啟動，進行抽真空。
在日常操作中，直讀光譜儀真空泵加什麽油?不少人都很疑惑。真空泵油是真空泵專用的特種潤滑油，不同型號的泵需要的油也不相同。
真空泵換油與油位檢查。真空泵換油一般一年換一次，換油必須由專人負責。油位檢查每周一次。真空泵油位在線與中間的那條線之間。
1、在開機狀態下，擰下頂蓋板上的螺絲，掀起頂蓋板。
2、擰鬆真空釋放閥，釋放真空度，並關閉真空泵電源開關。
3、待真空度釋放完畢，擰鬆真空泵與皮管間的螺絲，將皮管從真空泵上禦下。
4、取下真空泵上的油位指示牌（上蓋），真空泵上麵的兩個旋鈕用於補充真空泵油，下麵的一個旋鈕用於換油，換油時必須先打開上麵的一個旋鈕，以便於換油。
5、換油或加油結束，將真空泵按相反順序裝好，並擰緊真空泵與皮管間的連接螺絲。
6、擰緊真空釋放閥，打開真空泵電源，在5分鍾內，如果真空泵噪音依舊很大，那麽，先關閉真空泵電源，檢查真空室的連接部位是否有異物並清除，關好真空室，打開真空泵電源。
7、蓋上頂蓋，擰好螺絲。
