雖說直讀光譜儀的檢測準確度很高，但在測定樣品中元素含量時還是會存在所得結果與真實值含量存在偏差的可能，我們也稱之為誤差。這個誤差我們大致可以分為兩類，分別是係統誤差（恒定誤差）和隨機誤差（偶然誤差）。
係統誤差是指在一定試驗條件下由某個或某些因素按照某一確定的規律起作用而形成的誤差。它決定了測試結果的準確度，係統誤差的大小和符號在同一試驗中是恒定的，改變試驗條件時按照確定的規律變化。重複測定不能發現和減少係統誤差，隻有改變試驗條件才能發現係統誤差。測定結果與真實值偏離的程度越小，測定結果越正確，係統誤差就越小。一旦發現有係統誤差，一定要找出原因，設法避免和校正。
隨機誤差是具有隨機性的誤差，出現這種現象完全是一係列偶然因素（如測定環境的溫度、濕度、振動、灰塵、油汙、老化和儀器性能等）微小隨機波動造成的。如果對樣品隻進行一次測定，其測定值可能比真值大也可能比真值小。它的出現決定了測定結果的精密度。隨機誤差是一種無規律性的誤差，在分析過程中總是存在的。其性質是有時大，有時小，有時正，有時負，而產生的原因又無法控製。所以隻有通過多次測量並取平均值，才可以減小隨機誤差。
具體來說，上述兩種誤差都是由人、機、料、法、環這五個環節帶來的。隻有正確分析這五種因素才能減小隨機誤差和消除係統誤差。
